電子半導(dǎo)體石墨是一種在電子和半導(dǎo)體行業(yè)中具有廣泛應(yīng)用前景的石墨材料。通過(guò)對(duì)傳統(tǒng)石墨進(jìn)行改性處理，使其具備了半導(dǎo)體特性的一類(lèi)材料。這種改性處理使得石墨在保持原有優(yōu)良導(dǎo)電性能的基礎(chǔ)上，又具備了與傳統(tǒng)半導(dǎo)體相似的導(dǎo)電和導(dǎo)熱特性，從而在電子器件中能夠發(fā)揮重要作用。

　　電子半導(dǎo)體石墨的注意事項(xiàng)主要包括以下幾個(gè)方面：

　　1、防護(hù)措施：

　　防塵防吸入：石墨具有極細(xì)的顆粒，容易懸浮在空氣中并被吸入呼吸道，對(duì)人體健康產(chǎn)生影響。因此，操作時(shí)應(yīng)戴上合適的防護(hù)口罩和手套，防止石墨粉塵進(jìn)入呼吸道和皮膚。

　　避免直接接觸導(dǎo)電體：石墨具有高的導(dǎo)電性，與金屬或其他導(dǎo)電材料接觸時(shí)可能導(dǎo)致電路短路或觸電危險(xiǎn)。在處理石墨時(shí)應(yīng)特別注意避免直接接觸導(dǎo)電體，并在操作臺(tái)面上鋪設(shè)絕緣材料。

　　2、工作環(huán)境及加工要求：

　　良好的工作環(huán)境：減少碰撞，保持工作環(huán)境清潔，定時(shí)檢查電路，在最佳溫度下組織出產(chǎn)，減少空氣對(duì)石墨的氧化程度等，有助于延長(zhǎng)石墨板的使用壽命。

　　加工質(zhì)量：加工必須仔細(xì)，達(dá)到規(guī)范目標(biāo)，比如浸漬要均勻，使電阻率基本保持一致，避免生產(chǎn)過(guò)程中出現(xiàn)部分完好而部分腐蝕嚴(yán)重的情況，從而減少浪費(fèi)。

　　3、高溫下的注意事項(xiàng)：

　　有害氣體釋放：石墨在高溫情況下可能會(huì)釋放出有害氣體，如一氧化碳和二氧化碳等，因此在加工石墨時(shí)應(yīng)特別注意通風(fēng)換氣，以減少有害氣體對(duì)人體的影響。

　　4、高純度要求：

　　在半導(dǎo)體制造中，高純度是關(guān)鍵要求。高純石墨部件廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)、外延、離子注入、等離子蝕刻等制造工藝中。石墨中的雜質(zhì)含量應(yīng)保持在百萬(wàn)分之五以下，以滿足半導(dǎo)體制造的高純度需求。

　　5、特殊性能的應(yīng)用：

　　耐高溫：石墨融點(diǎn)和沸點(diǎn)都很高，熱膨脹系數(shù)小，強(qiáng)度隨溫度升高而加強(qiáng)。在半導(dǎo)體制造的高溫環(huán)境下，石墨能保持良好的性能。

　　導(dǎo)電導(dǎo)熱性：石墨具有良好的導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性，超過(guò)鋼、鐵、鉛等金屬材料，在半導(dǎo)體制造中的加熱器、坩堝等部件中有重要應(yīng)用。

　　化學(xué)穩(wěn)定性：常溫下石墨有良好的化學(xué)穩(wěn)定性，能耐酸、耐堿和耐有機(jī)溶劑的腐蝕，適用于半導(dǎo)體制造中的多種工藝環(huán)境。

　　6、存儲(chǔ)與運(yùn)輸：

　　防潮防破損：石墨材料應(yīng)儲(chǔ)存在干燥、陰涼的地方，遠(yuǎn)離火源和熱源，避免陽(yáng)光直射。同時(shí)，要注意防止石墨材料的包裝破損，以免影響其質(zhì)量。